塩田 達俊(シオダ タツトシ)
理工学研究科 数理電子情報部門准教授
工学部 電気電子物理工学科

研究者情報

■ 研究分野
  • ものづくり技術(機械・電気電子・化学工学), 計測工学

業績情報

■ 論文
■ MISC
  • Axial zoomable 2D single-shot comb interferometry using spatial phase modulator for profilometry and tomography               
    Tuan Cong Truong; Tuan Quoc Banh; Heuihyeon Kim; Tatsutoshi Shioda
    巻:439, 開始ページ:276, 終了ページ:283, 2019年05月15日
    英語
    DOI:https://doi.org/10.1016/j.optcom.2019.01.029
    Scopus:https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85061210770&origin=inward
    Scopus Citedby:https://www.scopus.com/inward/citedby.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85061210770&origin=inward
    DOI ID:10.1016/j.optcom.2019.01.029, ISSN:0030-4018, J-Global ID:201902291511816685, SCOPUS ID:85061210770
  • Generation of broadband frequency-variable laser comb allowing full-frequency sweep in the near-infrared region               
    Takashi Kurokawa; Tatsutoshi Shioda; Motohiro Koriba; Mitsutaka Ito; Ken Kashiwagi; Takuma Serizawa; Yosuke Tanaka
    巻:438, 開始ページ:13, 終了ページ:17, 2019年05月01日
    英語
    DOI:https://doi.org/10.1016/j.optcom.2018.12.086
    Scopus:https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85059912698&origin=inward
    Scopus Citedby:https://www.scopus.com/inward/citedby.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85059912698&origin=inward
    DOI ID:10.1016/j.optcom.2018.12.086, ISSN:0030-4018, J-Global ID:201902280722758379, SCOPUS ID:85059912698
  • Development of discrete frequency swept laser for 2D single‐shot pseudo comb interferometry               
    TRUONG Tuan Cong; TRUONG Tuan Cong; BANH Tuan Quoc; BANH Tuan Quoc; SHIODA Tatsutoshi
    Japanese Journal of Applied Physics, 巻:58, 号:5, 開始ページ:056503.1‐056503.6, 2019年
    英語
    DOI:https://doi.org/10.7567/1347-4065/ab0a7f
    Scopus:https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85067796557&origin=inward
    Scopus Citedby:https://www.scopus.com/inward/citedby.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=85067796557&origin=inward
    DOI ID:10.7567/1347-4065/ab0a7f, ISSN:0021-4922, eISSN:1347-4065, J-Global ID:201902222711799113, SCOPUS ID:85067796557
  • Scan‐less dual‐heterodyne mixing for dispersion spectrum measurement               
    SULTANA Nasrin; YUDA Leona; SHIODA Tatsutoshi
    Optics & Photonics Japan講演予稿集(CD-ROM), 巻:2018, 開始ページ:ROMBUNNO.1pB9, 2018年10月24日
    英語
    J-Global ID:201902292378243261
  • Controlling the dynamic range of 2D single‐shot imaging by frequency step of the discrete semiconductor tunable laser               
    TRUONG Tuan Cong; BANH Tuan Quoc; BANH Tuan Quoc; SHIODA Tatsutoshi
    Optics & Photonics Japan講演予稿集(CD-ROM), 巻:2017, 開始ページ:ROMBUNNO.2aB2, 2017年10月16日
    英語
    J-Global ID:201702276984036707
  • 波長可変な広帯域コムの生成と精密分光への応用
    郡場元太; 小久保宰; 森貴宏; 田中洋介; 黒川隆志; 黒川隆志; 塩田達俊; 柏木謙
    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM), 巻:64th, 開始ページ:ROMBUNNO.17p‐418‐6, 2017年03月01日
    日本語
    J-Global ID:201702228064232798
  • Precise profilometry for scattered media and tomography for multiple‐layers samples using the Discrete frequency scanning laser               
    TRUONG Tuan Cong; BANH Tuan Quoc; BANH Tuan Quoc; SHIODA Tatsutoshi
    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM), 巻:64th, 開始ページ:ROMBUNNO.17a‐418‐8, 2017年03月01日
    英語
    J-Global ID:201702283349397655
  • Controlling frequency step of discrete frequency scanning laser by means of etalon thickness               
    TRUONG Tuan Cong; BANH Tuan Quoc; BANH Tuan Quoc; KIM Heuihyeon; SHIODA Tatsutoshi
    Optics & Photonics Japan講演予稿集(CD-ROM), 巻:2016, 開始ページ:ROMBUNNO.2aD8, 2016年10月15日
    英語
    J-Global ID:201602250686217131
  • Development of discrete frequency scanning laser for interferometry               
    TRUONG Cong Tuan; BANH Quoc Tuan; BANH Quoc Tuan; KIM Heui Hyeon; SHIODA Tatsutoshi
    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM), 巻:77th, 開始ページ:ROMBUNNO.15p‐C32‐6, 2016年09月01日
    英語
    J-Global ID:201602266875783459
  • Fiber optic remote sensor based on laser powering and liquid-crystal-based optical modulator               
    Yosuke Tanaka; Sayuri Sugano; Muneyuki Nakagawa; Tatsutoshi Shioda; Takashi Kurokawa; Toshiharu Fukuoka; Kazuyuki Ueta
    巻:5855 PART II, 開始ページ:992, 終了ページ:995, 2005年
    DOI:https://doi.org/10.1117/12.623792
    Scopus:https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=28544453115&origin=inward
    Scopus Citedby:https://www.scopus.com/inward/citedby.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=28544453115&origin=inward
    DOI ID:10.1117/12.623792, ISSN:0277-786X, SCOPUS ID:28544453115
■ 講演・口頭発表等
  • Optical Terahertz Waveform Generation and 1ns Phase Analysis using Coherence Varied Asynchronous Modes with Optical Frequency Comb Synthesizer/Analyzer for Distance Measurement               
    Daisuke Noso; Mao Nakamura; Ryo Uchiyama; Tatsutoshi Shioda
    CLEO2025, 2025年05月
  • Frequency Domain Optical Correlation Using DSB Modulation for Arbitrary Ultrafast Optical Waveform Measurement               
    Sho Ohmori; Ryosuke Suzuki; Kazuma Yamane; Tatsutoshi Shioda
    CLEO2025, 2025年05月
  • Tomographic Spectroscopy for Multilayer with Complex Refractive Indices,               
    Shuto Onodera
    OPIC2025, 2025年04月
  • Generation of Low-Coherence Dual Coms for 3D Distance Measurement               
    Satoshi Kanai; Yuki Sekiguchi; Kenta Arai; Tatsutoshi Shioda
    OPIC2025, 2025年04月
  • Arbitrary Optical Waveform Measurement using Frequency Domain Optical Correlation System with Double-Sideband Modulation               
    Rosuke Suzuki; Sho Ohmori; Tatsutoshi Shioda
    The 2024 International Conference on Photonics Solutions (ICPS2024), 2024年12月
  • 2D single-shot optical frequency comb profilometry for submicron detection               
    Bao Dinh Thai; Tuan Truong Cong; Tatsutoshi Shioda
    The 2024 International Conference on Photonics Solutions (ICPS2024), 2024年12月
  • Optical Frequency Comb based Ultra-fast Waveform and Distance Measurements               
    Tatsutoshi Shioda
    The 2024 International Conference on Photonics Solutions (ICPS2024), 2024年12月, [招待有り]
  • 複素屈折率を持つ多層膜に適用可能なトモグラフィック分光法,               
    村澤 聡笑; 塩田 達俊
    日本光学会年次学術講演会Optics & Photonics Japan 2024, 2024年11月
  • 2 次元シングルショット OCT を用いた液体表面の形状変化測定               
    橋本 夕芽; 村澤 聡笑; 小野寺 柊人; 塩田 達俊
    日本光学会年次学術講演会Optics & Photonics Japan 2024, 2024年11月
  • 周波数帯域の拡大を実現する干渉制御を利用した周波数領域光相関法               
    鈴木 涼介; 大森 翔; 塩田 達俊
    日本光学会年次学術講演会Optics & Photonics Japan 2024, 2024年11月
  • 波長 1.5µm 帯低コヒーレンス光源を用いたデュアルコム分光法の原理検証と距離計測に関する研究               
    田口 大翔; 鈴木 涼介; 金井 聡志; 田邊 寛洋; 関口 優紀; 塩田 達俊
    日本光学会年次学術講演会Optics & Photonics Japan 2024, 2024年11月
  • PM ファイバーエタロンの2 偏波モードを用いた低コヒーレンスデュアルコムの生成と距離計測応用               
    金井 聡志; 関口 優紀; 塩田 達俊
    日本光学会年次学術講演会Optics & Photonics Japan 2024, 2024年11月
  • 3×3カプラと狭帯域バンドパスフィルタを用いた波長1550 nm ピコ秒モード同期ファイバレーザー               
    西浦 匡則; 中村 亮介; 塩田 達俊
    第85回応用物理学会秋季学術講演会, 2024年09月
  • DSB変調を用いた周波数領域光相関法による超高速光波形計測の原理検証               
    大森 翔; 鈴木 涼介; 塩田 達俊
    第85回応用物理学会秋季学術講演会, 2024年09月
  • 光周波数コムシンセサイザ/アナライザによるテラヘルツマイクロ波生成と距離計測応用へ向けた基礎検討               
    能宗大輔; 内山遼; 塩田達俊
    第85回応用物理学会秋季学術講演会, 2024年09月
  • 空間光学系における偏光干渉を用いた低コヒーレンスデュアルコム分光法の提案と距離計測への応用               
    田邊 寛洋; 関口 優紀; 塩田 達俊
    第85回応用物理学会秋季学術講演会, 2024年09月
  • Waveform Control of Terahertz Optical Microwave Generation by Optical Frequency Comb Synthesizer/Analyzer and its Application to TOF Distance Measurement               
    Daisuke Noso; Ryo Uchiyama; Tatsutoshi Shioda
    CLEO-PR2024, 2024年08月
  • Generation of Terahertz Optical Microwave generation by Optical Frequency Comb Synthesizer/Analyzer and its application to TOF distance measurement               
    Ryo Uchiyama; Daisuke Noso; Tatsutoshi Shioda
    CLEO2024, 2024年05月
  • 2D Single-shot Spectral-domain Optical Coherence Tomography by Synchronization of pulse light source and camera               
    Satoe Murazawa; Keito Fukuda; Tatsutoshi Shioda
    OPIC2024, 2024年04月
  • 関口 優紀, 塩田 達俊               
    関口 優紀; 塩田 達俊
    第71回応用物理学会春季学術講演会, 2024年03月
  • 光周波数コムシンセサイザ/アナライザにおけるテラヘルツ帯光マイクロ波の波形制御の距離計測応用へ向けた基礎検討               
    能宗 大輔; 内山 遼; 今井 颯; 塩田 達俊
    応用物理学会 光波センシング技術研究会LST講演会, 2023年12月
  • SSB 光変調器を用いた周波数領域光相関法の共通光路化の検討               
    鈴木涼介; 大森翔; 塩田達俊
    日本光学会年次学術講演会 Optics & Photonics Japan2023, 2023年11月
  • 2次元SD-OCTにおけるシングルショットパルス照射による振動ロバスト性の向上               
    村澤 聡笑; 福田 渓人; 塩田 達俊
    日本光学会年次学術講演会 Optics & Photonics Japan2023, 2023年11月
  • 2Dシングルショット干渉計を用いた表面形状計測への構造化光の適用               
    福田 渓人; 村澤 聡笑; 塩田 達俊
    日本光学会年次学術講演会 Optics & Photonics Japan2023, 2023年11月
  • 光周波数コムシンセサイザ/アナライザによるテラヘルツ帯光マイクロ波の発生と距離計測応               
    内山 遼; 能宗 大輔; 塩田 達俊
    第84回応用物理学会秋季学術講演会, 2023年09月
  • Single-Shot Measurement of Optical Frequency Comb Synthesizing Ultrafast Arbitrary Waveforms Using Novel Technique of Frequency Domain Optical Correlation               
    Kaito Fukushi; Ryosuke Suzuki; Tatsutoshi Shioda
    CLEO2023, 2023年05月
  • 周波数領域光相関法の測定原理に則した計算アルゴリズムの検討               
    鈴木 涼介; 福士 海渡; 塩田 達俊
    第70回応用物理学会春季学術講演会, 2023年03月
  • 2D シングルショット光断層計測における高速化と広い計測範囲の両立               
    福田 渓人; 村澤 聡笑; 塩田 達俊
    第70回応用物理学会春季学術講演会, 2023年03月
  • 超短パルスレーザーを発生する光ファイバモジュール               
    西浦 匡則; 影山 陵; 中村 亮介; 塩田 達俊
    レーザー学会 第43回年次大会, 2023年01月
  • 6.5 nJ, 20 MHz compact SESAM-free al-PM ultra-short pulse fiber seed laser pumped by a single butterfly laserdiode               
    Masanori Nishiura; Ryo Kageyama; Ryosuke Nakamura; Tatsutoshi Shioda
    SPIE Photonics West2023, 2023年01月
  • Single-shot Ultrafast Optical Waveform Measurement System               
    Tatsutoshi Shioda
    Optics & Photonics Taiwan International Conference (OPTIC), 2022年12月
  • Compact NALM-Based Yb Fiber Laser at 1064 nm               
    Masanori Nishiura; Ryo Kageyama; Ryosuke Nakamura; Tatsutoshi Shioda
    OPTICA Laser Congress and exhibition, 2022年12月
  • 2Dシングルショット光断層計測における振動ロバスト性向上と高感度化               
    福田 渓人; 塩田 達俊
    日本光学会年次学術講演会 Optics & Photonics Japan 2022, 2022年11月
  • FSRの異なるエタロン2台を用いた低コヒーレンスコム干渉による距離計測               
    関口 優紀; 高瀬 博章; 横地 界斗; 塩田 達俊
    日本光学会年次学術講演会 Optics & Photonics Japan 2022, 2022年11月
  • 周波数領域光相関法と2逓倍変調を用いた光周波数コム合成信号の解析               
    福士 海渡; 鈴木 涼介; 塩田 達俊
    日本光学会年次学術講演会 Optics & Photonics Japan 2022, 2022年11月
  • 光周波数コムとヘテロダイン検波による光ファイバーブリュアン温度計測               
    小野 拓真; 田中 洋介; 塩田 達俊
    日本光学会年次学術講演会 Optics & Photonics Japan 2022, 2022年11月
  • スーパーコンティニウム光の縦モード間ビート信号の位相解析による屈折率計測               
    青山 直樹; 塩田 達俊
    日本光学会年次学術講演会 Optics & Photonics Japan 2022, 2022年11月
  • ピコ秒前後で変化する光電界の解析               
    塩田 達俊
    日本磁気学会 第239回研究会, 2022年11月
  • 2逓倍変調を用いた周波数領域光相関システムによる超高速光波形計測の検討               
    福士 海渡; 青山 直樹; 鈴木 涼介; 塩田 達俊
    第83回応用物理学会秋季学術講演会, 2022年09月
  • 光周波数コムとヘテロダイン検波を利用したブリュアンスペクトル計測               
    小野 拓真; 田中 洋介; 塩田 達俊
    第83回応用物理学会秋季学術講演会, 2022年09月
  • 光マイクロ波の位相検波による屈折率計測の基礎検討               
    青山 直樹; 土屋 直彰; 塩田 達俊
    第83回応用物理学会秋季学術講演会, 2022年09月
  • 2波長バンドパスフィルタを用いたシングルゲイン8の字型ファイバレーザー               
    影山 稜; 西浦 匡則; 謝 宜達; 塩田 達俊; 中村 亮介
    第83回応用物理学会秋季学術講演会, 2022年09月
  • NALM型ファイバレーザー発振器とプリアンプの統合               
    西浦 匡則; 影山 陵; 塩田 達俊
    第83回応用物理学会秋季学術講演会, 2022年09月
  • Common Path Frequency Domain Optical Correlation System for Ultrafast Optical Waveform Analysis               
    Kaito Fukushi; Tatsutoshi Shioda
    CLEO-PacificRim2022, 2022年08月
  • Brillouin Fiber Sensor Based on Optical Frequency Comb and Heterodyne Detection               
    Takuma Ono; Yosuke Tanaka; Tatsutoshi Shioda
    CLEO-PacificRim2022, 2022年08月
  • Investigation of the effect of grating profile on the precision of 2D single-shot comb-based interferometer               
    Dinh Thai Bao; Keishi Chiba; Truong Cong Tuan; Tatsutoshi Shioda
    CLEO-PacificRim2022, 2022年08月
  • Phase Sensitive Surface Profile Measurement Using Swept Multigigahertz Supercontinuum Comb               
    Samuel Choi; Takuro Yamazaki; Hiroshi Hibino; Takamasa Suzuki; Tatsutoshi Shioda
    CLEO-PacificRim2022, 2022年08月
  • 超高速光波形計測へ向けた共通光路周波数領域光相関システム               
    福士 海渡; 八木 達椰; 塩田 達俊
    第69回応用物理学会春季学術講演会, 2022年03月
  • 高周波数コムとヘテロダイン検波を利用したブリュアンセンサ               
    小野 拓真; 田中 洋介; 塩田 達俊
    第69回応用物理学会春季学術講演会, 2022年03月
  • 低コヒーレンスデュアルコム分光法の提案と距離計測へ向けたシミュレーション               
    関口 優紀; 高瀬 博章; 高橋 聖基; 横地 界斗; 小笠原 隆行; 塩田 達俊
    第69回応用物理学会春季学術講演会, 2022年03月
  • バランス型二波長同時ヘテロダイン検波法による位相計測精度の向上               
    青山 直樹; 今井 颯; 内山 遼; 塩田 達俊
    第69回応用物理学会春季学術講演会, 2022年03月
  • 2波長バンドパスフィルタを用いた セルフスタートモード同期ファイバレーザー               
    西浦 匡則; 塩田 達俊
    レーザー学会学術講演会第42回年次大会, 2022年01月, [招待有り]
  • Q周波数領域光相関法を用いた超高速光波形計測               
    塩田 達俊
    レーザー学会学術講演会第42回年次大会, 2022年01月
  • Research on the effect of the grating profile on the profilometry resolution of the 2D single-shot comb-based interferometer               
    Dinh Thai Bao; Keishi Chiba; Truong Cong Tuan; Tatsutoshi Shioda
    AUN/SEED-Net Joint Regional Conference in Transportation, Energy and Mechanical Manufacturing Engineering, 2021年12月
  • figure-8 超短パルスファイバレーザーの数値解析               
    西浦 匡則; 塩田 達俊
    レーザー学会 第570回研究会 次世代ファイバレーザー技術, 2021年11月
  • 周波数領域での高速光波形計測               
    塩田 達俊
    超高速光エレクトロニクス研究会, 2021年10月
  • K-K解析による多層構造空間分解複素電界分光法の原理実証               
    梶山 貴弘; 塩田 達俊
    日本光学会年次学術講演会 Optics & Photonics Japan 2021, 2021年10月
  • 周波数領域光相関法に向けた変調器の伝搬方向相違性の検討               
    八木 達椰; 福士 海渡; 塩田 達俊
    日本光学会年次学術講演会 Optics & Photonics Japan 2021, 2021年10月
  • 超高速光波形計測のための単一方向に伝搬する共通光路周波数領域光相関システム               
    福士 海渡; 八木 達椰; 塩田 達俊
    日本光学会年次学術講演会 Optics & Photonics Japan 2021, 2021年10月
  • バランス型2波長同時ヘテロダイン検波法による光位相計測の高感度化の検討               
    今井 颯; 青山 直樹; 塩田 達俊
    日本光学会年次学術講演会 Optics & Photonics Japan 2021, 2021年10月
  • シングルショット二次元OCTにおける空間光学的バンドパスフィルタを用いた背景光低減               
    千葉 啓史; 塩田 達俊
    日本光学会年次学術講演会 Optics & Photonics Japan 2021, 2021年10月
  • K-K解析によるSD-OCTを用いた多層構造空間分解複素電界分光法               
    梶山 貴弘; 塩田 達俊
    第82回応用物理学会秋季学術学術講演会, 2021年09月
  • 2次元シングルショット OCT の空間位相変調器のステップ長と計測精度の関係               
    千葉 啓史; 塩田 達俊
    第82回応用物理学会秋季学術学術講演会, 2021年09月
  • 光周波数コムアナライザによるワンショット超高速任意光波形計測               
    青山 直樹; 今井 颯; 塩田 達俊
    第82回応用物理学会秋季学術学術講演会, 2021年09月
  • 周波数領域光相関超高速任意光波形計測の実現に向けた光周波数変調器特性の調査               
    八木 達椰; 福士 海渡; 塩田 達俊
    第82回応用物理学会秋季学術学術講演会, 2021年09月
  • 25.6 Tbps Pre-Compensated Waveform Propagation Using Optical Frequency Comb Synthesizer/Analyzer               
    N. Sultana; H. Tada; H. Imai; T. Shioda
    CLEO2021, 2021年05月
  • ANDiモード同期ファイバレーザーにおける狭帯域バンドパスフィルタのスロープ依存性”               
    西浦 匡則; 塩田 達俊
    第68回応用物理学会春季学術学術講演会, 2021年03月
  • Dual-bandpass filter for self-starting mode-locking in All-PM NALM-based fiber laser               
    Masanori Nishiura; Tatsutoshi Shioda
    Photonics West 2021 Digital Forum, 2021年03月
  • 全正常分散ファイバレーザーのバンドパスフィルタ依存性               
    紀 里; 西浦 匡則; 塩田 達俊
    レーザー学会学術講演会第41回年次大会, 2021年01月
  • 光コムシンセサイザ/アナライザを用いたワンショット超高速任意波形計測               
    今井 颯; 多田 浩明; ナスリン スルタナ; 青山 直樹; 塩田 達俊
    日本光学会年次学術講演会 Optics & Photonics Japan 2020, 2020年11月
  • スーパーコンティニューム光の縦モード間干渉を利用した屈折率計測               
    中堀 秀治; 渡部 未来; 塩田 達俊
    日本光学会年次学術講演会 Optics & Photonics Japan 2020, 2020年11月
  • SD-OCTを用いた空間分解複素電界分光法               
    梶山 貴弘; 郡司 翔平; 唐澤 悠太朗; 塩田 達俊
    日本光学会年次学術講演会 Optics & Photonics Japan 2020, 2020年11月
  • 2次元シングルショット光干渉断層計測法のロバスト性向上               
    阿波根 稔季; 塩田 達俊
    日本光学会年次学術講演会 Optics & Photonics Japan 2020, 2020年11月
  • 高速光分散スペクトル計測法と分散した伝播経路中の任意位置における光波形制御システムの提案               
    青山 直樹; ナスリン スルタナ; 今井 颯; 多田 浩明; 塩田 達俊
    日本光学会年次学術講演会 Optics & Photonics Japan 2020, 2020年11月
  • 二次元シングルショット断層計測におけるステップ型空間位相変調器と位置検出精度の関係               
    千葉 啓史; 塩田 達俊
    日本光学会年次学術講演会 Optics & Photonics Japan 2020, 2020年11月
  • 機械的走査のないパルス幅・波長可変モード同期ファイバレーザー               
    西浦 匡則; 塩田 達俊
    日本光学会年次学術講演会 Optics & Photonics Japan 2020, 2020年11月
  • 超高速光波形計測へ向けた周波数領域光相関法の提案               
    三木 真人; 八木 達椰; 福士 海斗; 今井 颯; 塩田 達俊
    日本光学会年次学術講演会 Optics & Photonics Japan 2020, 2020年11月
  • Q スイッチ誘発波長フィルタを用いた自己始動モード同期               
    西浦 匡則; 塩田 達俊
    レーザー学会第 548 回研究会「ファイバレーザー技術」, 2020年11月
  • Measurement Range Extension of an Industrial Tomography and Profilometry Using Comb-less Interferometry               
    Tuan Cong Truong; Thoa Thi Mac; Tuan Quoc Banh; Tung Thanh Vu; Tatsutoshi Shioda; Thang Toan Vu
    Annual International Conference on Material, Machines and Methods for Sustainable Development (MMMS2020), 2020年11月
  • スーパーコンティニューム光源の複数モード間干渉を用いた屈折率計測のレンジ拡大               
    中堀 秀治; 渡部 未来; 塩田 達俊
    第81回応用物理学会秋季学術講演会, 2020年09月
  • 周波数領域光相互相関を用いた超高速光波形計測システムの基礎検討               
    八木 達椰; 三木 真人; 今井 颯; 多田 浩明; 塩田 達俊
    第81回応用物理学会秋季学術講演会, 2020年09月
  • 単一過渡応答計測のための光周波数コムシンセサイザ/アナライザ               
    今井 颯; 多田 浩明; 湯田 怜央奈; 三木 真人; 塩田 達俊
    第81回応用物理学会秋季学術講演会, 2020年09月
  • 振動環境下でのシングルショット2次元光干渉断層計測               
    阿波根 稔季; 塩田 達俊
    第81回応用物理学会秋季学術講演会, 2020年09月
  • 2D Single-shot Optical Coherence Tomography for Measurement Under Vibration Environment               
    Toshiki Awane; Tatsutoshi Shioda
    The CLEO PR 2020, 2020年08月
  • Ultra-fast Waveform Measurement in Single-shot Using Optical Frequency Comb Analyzer,               
    Hayate Imai; Hiroali Tada; Sultana Nasrin; Shioda Tatsutoshi
    CLEo2020, 2020年05月
  • Scan-less Dispersion Spectroscopy with Single-shot DualHeterodyne Mixing and Optical Frequency Comb               
    Sultana Nasrin; Hiroaki Tada; Tatsutoshi Shioda
    CLEO2020, 2020年05月
  • 高速光波形計測のための周波数領域光相関法の提案と基礎検討               
    八木 達椰; 三木 真人; 多田 浩明; 今井 颯; 塩田 達俊
    第67回応用物理学会春季学術講演会, 2020年03月
  • 振動環境下での高速・非接触2次元シングルショット表面形状計測               
    阿波根 稔季; トゥアン バン; 塩田 達俊
    第67回応用物理学会春季学術講演会, 2020年03月
  • シングルショット超高速波形計測のための高速光周波数コムアナライザ               
    多田 浩明; 湯田 怜央奈; 今井 颯; 三木 真人; 塩田 達俊
    第67回応用物理学会春季学術講演会, 2020年03月
  • 1020-1064 nm wavelength-tunable all polarization maintaining mode-locked fiber laser with a programmable optical filter               
    Masanori Nishiura; Tatsutoshi Shioda
    Photonics West 2020, 2020年02月
  • 波長フレキシブル全PMモード同期Ybファイバレーザ               
    西浦 匡則; 塩田 達俊
    レーザー学会学術講演会第40回年次大会, 2020年01月
  • 周波数軸上での相関を利用した高速波形計測法についての基礎検討               
    三木 真人; 多田 浩明; 八木 達椰; 塩田 達俊
    第64回 光波センシング技術研究会講演会, 2019年12月
  • High-speed 2D Single-shot Surface Profilometry for Industrial Inspection under Vibrational Environment               
    Toshiki Awane; Tuan Q. Banh; Tatsutoshi Shioda
    OSA Laser Congress, 2019年10月
  • High-speed and Single-shot Waveform Measurement for Elucidation of Irreversible Chemical Reaction Dynamics               
    Hiroaki Tada; Leona Yuda; Tatsutoshi Shioda
    OSA Laser Congress, 2019年10月
  • Dispersion Spectrum Measurement using Scan-less Dual-heterodyne Mixing               
    Nasrin Sultana; Tada Hiroaki; Shioda Tatsutoshi
    OSA Laser Congress, 2019年10月
  • 低コヒーレンス干渉計を用いたトモグラフィック位相屈折率スペクトル計測               
    唐澤 悠太朗; 郡司 翔平; 塩田 達俊
    第80回応用物理学会秋季学術講演会, 2019年09月
  • 振動環境下での安定な高速2次元シングルショット表面形状計測               
    阿波根 稔季; 塩田 達俊; バン クォック トゥアン
    第80回応用物理学会秋季学術講演会, 2019年09月
  • 光周波数コムアナライザを用いた超高速光波形計測のシングルショット計測化に向けた基礎検討               
    多田 浩明; 湯田 怜央奈; 塩田 達俊
    第80回応用物理学会秋季学術講演会, 2019年09月
  • NALMを用いたモード同期ピコ秒 全PM Ybファイバレーザ               
    西浦 匡則; 塩田 達俊
    第80回応用物理学会秋季学術講演会, 2019年09月
  • 低コヒーレンス干渉計によるトモグラフィック屈折率計測               
    唐澤 悠太朗; 郡司 翔平; 塩田 達俊
    第66回応用物理学会春季学術講演会, 2019年03月
  • 光コム合成/解析法による超高速光波形計測と分散計測               
    塩田 達俊
    レーザー学会学術講演会第39回年次大会, 2019年01月
■ 共同研究・競争的資金等の研究課題
  • 光領域差動利得信号生成技術の開拓と半透明サンプルの高速低雑音計測への応用               
    日本学術振興会, 科学研究費助成事業 挑戦的研究(萌芽), 挑戦的研究(萌芽), 2022年06月30日 - 2024年03月31日
    田中 洋介; 塩田 達俊, 東京農工大学
    配分額(総額):6500000, 配分額(直接経費):5000000, 配分額(間接経費):1500000
    課題番号:22K18790
  • 電力線の絶縁破壊兆候を早期発見する高感度光ファイバセンシングの国際共同研究               
    日本学術振興会, 科学研究費助成事業, 国際共同研究加速基金(国際共同研究強化(B)), 2021年10月07日 - 2024年03月31日
    田中 洋介; 稲田 優貴; 塩田 達俊, 東京農工大学
    配分額(総額):17680000, 配分額(直接経費):13600000, 配分額(間接経費):4080000
    本研究の目的は、分布型光ファイバセンサによる温度または振動測定を利用した電力線の絶縁劣化初期段階の観測について、その具体的な手法を実際の電力施設を用いて確立することにある。そのためにマレーシアの電力会社テナガ・ナショナルの研究所(TNBR)内で、現地で実際に使用されているものと同等の電力線を用意し、センシング用の光ファイバを敷設することを計画した。分布型光ファイバセンシングについては、日本、マレーシア両国の研究者が協力して事前に準備実験を行うこととした。研究の第一段階の目標は、送電状態を変化させ、分布型光ファイバセンサで測定される電力線長手方向の温度分布や振動分布の変化との関係を明らかにすることとした。2021年度は、コロナ禍のため現地での実験を進めることができなくなったが、オンラインでの議論を活発に行い、両国の研究者が協力して光ファイバ分布センシングの高空間分解能化や高速化のための様々な手法の提案と原理確認を進めた。具体的には、光ファイバ内の散乱現象の一つであるブリュアン散乱が温度や歪みによって波長を変化させる現象を利用したセンシングにおいて、波長変化自体を測る従来手法に代わり、散乱光のパワーから即座に温度や歪みの変化を測定する手法を考案し、原理実証を行った。また、光源に光周波数コム光源を用いてブリュアン散乱を発生させ、散乱光スペクトルを一括測定する新たな手法の提案を行った。更に、精度向上のために機械学習を利用した手法について手掛けた。
    課題番号:21KK0067
  • 周波数領域光相関によるワンショット/広範囲/超高分解光波形計測法の研究               
    日本学術振興会, 科学研究費助成事業, 基盤研究(B), 2021年04月01日 - 2024年03月31日
    塩田 達俊, 埼玉大学
    配分額(総額):17550000, 配分額(直接経費):13500000, 配分額(間接経費):4050000
    本研究の目的は、フェムト秒やピコ秒の時間分解能での光波形を“ワンショット”で計測する光計測システムを開発することである。具体的には、申請者が初めて提案した“周波数領域の”光相関測定を高速波形計測に適用し、100 fs台から1 nsまで時間的にギャップのないワンショット光波形計測システムを実現することである。初年度は、テラヘルツ領域に到達する兆候繰返し光パルス列をプローブ用光源として発生することを目標に実験し、100fs台の繰返し光パルスを生成した。さらに光単側波帯変調器を組み込んだ光ループ回路によりCW光を光源とした場合に100周回オーダーでの光周回を確認した。
    課題番号:21H01837
  • 二光子吸収応答受光系を用いた多点光ファイバ型ベクトル曲げセンサ               
    日本学術振興会, 科学研究費助成事業, 基盤研究(B), 2020年04月01日 - 2023年03月31日
    田中 洋介; 塩田 達俊, 東京農工大学
    配分額(総額):17810000, 配分額(直接経費):13700000, 配分額(間接経費):4110000
    本研究の目標は、一本の光ファイバに複数の光路をまとめたマルチコア光ファイバをセンシングヘッドとして用い、このファイバを取り付けた対象に加わる曲げの大きさ、および向きを同時に多点で計測可能なセンサを実現することである。一本の光ファイバで多点の曲げ計測ができるようになれば、大型構造物の状態診断、ロボットアームの曲げセンシング、医療用カテーテルの曲げ監視等、様々な分野に応用できる。光ファイバは電磁雑音の影響を受けないため、このセンサは電磁波が飛び交う製造現場や電力施設、医療におけるMRI検査の現場等、様々な環境下で使用できる。また、軽量、細径で柔軟なことから、設置対象への影響が無視できる。
    提案する曲げ計測システムは、光ファイバ回折格子をマルチコア光ファイバに加工したものをセンシングヘッドとすると共に、光信号を受光素子の二光子吸収応答を利用して処理する点に特徴がある。2021年度は、このシステムで測定の高速化を実現するため、光信号の波長掃引と強度変調の新たな制御手法の検討を進め、今後の発展のための土台を築いた。また、前年度までに行った多点3次元曲げ計測の研究成果を踏まえ、光ファイバ型の形状計測システムへの応用を実証した。光ファイバで効率よく計測できる形状は、なだらかな曲線形状のものが中心であり、当初想定した構造物診断や医療機器の曲げ計測応用に適している。今回、センシングファイバを医療用カテーテルに組み込み、曲げ形状計測への応用について実証実験を行った。マルチコア光ファイバでは複数の隣接する光路で温度の影響が同じであるため、ひずみ測定における誤差要因となる温度の影響をキャンセルし、温度無依存測定が可能なことを併せて実証した。
    課題番号:20H02158
  • フェムト秒時間分解-離散時間分散光コムシングルショット過渡吸収分光法の研究               
    日本学術振興会, 科学研究費助成事業, 挑戦的研究(萌芽), 2017年06月30日 - 2020年03月31日
    塩田 達俊, 埼玉大学
    配分額(総額):6500000, 配分額(直接経費):5000000, 配分額(間接経費):1500000
    シングルショット位相計測を、200 GHzの光周波数コムのモード間の25GHzサンプリングにより、40ピコ秒の時間領域で行う光システムの研究を行ってきた。この技術を過渡応答計測に適用する場合、時間分解能と広域な時間窓の両立には、広帯域かつ高分解な位相スペクトルの計測・制御技術が求められる。本課題で時間並列計測方式を考案し、1台の位相検波回路によって位相スペクトル計測を可能とした。375GHz (25GHz 、15modes)における振幅・位相スペクトルを測定し、2.7ps分解能、40ps時間レンジの超高速光電界波形計測が可能であることを実験的に示した。
    課題番号:17K19069
  • 光コム光源の導入による高速かつ高精度な分布型ファイバセンシング               
    日本学術振興会, 科学研究費助成事業, 基盤研究(B), 2016年04月01日 - 2019年03月31日
    田中 洋介; 塩田 達俊, 東京農工大学
    配分額(総額):16770000, 配分額(直接経費):12900000, 配分額(間接経費):3870000
    本研究では、光周波数コムと呼ばれる周波数間隔一定の多波長光を用いた高速かつ高精度なファイバセンシングの実現を目標として検討を開始した。この手法はブリュアン利得スペクトルが光源の周波数掃引なしで測定できるため、短時間測定が可能である。利得スペクトルの一括測定に加え、光周波数コムによる多モード誘導ブリュアン散乱を用いたセンシングのでは、従来手法に対し最大で3桁の感度拡大が可能な測定系を実現した。また、本研究を進める中で関連するファイバセンシング技術として、光ファイバ回折格子を多点設置した高精度測定を着想し、実験による検証に成功した。
    課題番号:16H04374
  • 高速離散波長可変レーザーと擬似光周波数コム干渉顕微鏡の研究               
    日本学術振興会, 科学研究費助成事業, 基盤研究(B), 2016年04月01日 - 2019年03月31日
    塩田 達俊, 埼玉大学
    配分額(総額):16900000, 配分額(直接経費):13000000, 配分額(間接経費):3900000
    モノづくり現場における製品の表面形状の検査装置に用いる技術の研究を行った。光学干渉計を用いた非接触計測により、深さ方向にマイクロメートル分解能でミリメートル領域の距離計測が可能な2次元シングルショット計測器を構築した。簡易に発生できる光コムを光源として、高次までの疑似光コム干渉で得られるシングルショット2次元断層像を体積サンプリング速度の高速なCCDで観測した。一方、その光源としてCCDの撮像時間より早い超高速な光周波数走査繰返し(1MHz)と離散的に周波数走査(200GHz間隔)する高速離散波長可変レーザーを新たに開発して疑似光コム干渉の基礎技術を開発した。
    課題番号:16H03879
  • フェムト秒時間分解光コムシングルショット過渡吸収分光法の研究               
    日本学術振興会, 科学研究費助成事業, 挑戦的萌芽研究, 2015年04月01日 - 2017年03月31日
    塩田 達俊, 埼玉大学
    配分額(総額):4030000, 配分額(直接経費):3100000, 配分額(間接経費):930000
    フェムト秒の時間分解能で数10ピコ秒の計測時間をもつシングルショット任意光波形制御/計測技術の実現をするために,これまでに我々は光周波数コムシンセサイザ/アナライザを開発した.ここで、時間分解能と制御時間領域の比と,その計測制御時間での積算時間を改善するために前者に対しては200 GHzコムのピーク間を25 GHzでサンプリングすることで計測時間を5ピコ秒から40ピコ秒へ拡大することを目指す.また,後者に対しては40ピコ秒の時間窓で信号光を切り出して1 GHzデジタイザでシングルショット計測することで,疑似的な25 GHz(40 ps)デジタイザでのシングルショット計測を実証した.
    課題番号:15K13372
  • 周波数可変な広帯域マルチギガヘルツコムによる分光計測法の研究               
    日本学術振興会, 科学研究費助成事業, 基盤研究(B), 2014年04月01日 - 2017年03月31日
    黒川 隆志; 塩田 達俊; 田中 洋介, 東京農工大学
    配分額(総額):16120000, 配分額(直接経費):12400000, 配分額(間接経費):3720000
    本研究の目的は,広モード間隔の広帯域コムの全てのモードを一括して周波数シフトできる周波数可変なコム光源を開発することにある.この周波数可変コム光源を用いて,広帯域性と高分解能を併せ持つ分光技術を開拓する.
    パルス整形で生成した4 psの短光パルス(繰り返し12.5GHz)を単側波帯変調器によりMHz精度で周波数シフトできることを確認した.このパルスを圧縮・増幅したのち高非線形ファイバに入射して,1100-1700 nmに及ぶ広帯域かつ周波数可変なコムを生成することに成功した.このコム光を回折格子分光器に入射し,低圧ガスやファプリペローフィルタのスペクトルを1 MHzの分解能で得ることに成功した.
    課題番号:26286057
  • 高強度マルチギガヘルツコムを用いた広ダイナミックレンジ分光・形状計測               
    日本学術振興会, 科学研究費助成事業, 基盤研究(B), 2013年04月01日 - 2016年03月31日
    柏木 謙; 黒川 隆志; 田中 洋介; 塩田 達俊, 東京農工大学
    配分額(総額):18460000, 配分額(直接経費):14200000, 配分額(間接経費):4260000
    本研究課題では周波数間隔の広い光周波数コムを用いて広ダイナミックレンジの計測法を開発した。光周波数コムはある一定の間隔で周波数成分を持つ光源であり、一般的な周波数間隔の狭い光周波数コムは光強度が多くの周波数成分に分散するため各周波数成分の強度が低い。周波数間隔が10 GHz以上と広い光周波数コム(マルチギガヘルツコム)は少ない周波数成分に光強度が集中するため各成分の強度が高い。これにより広いダイナミックレンジが期待できる。本研究課題ではこのようなコムを計測に利用するため、広帯域マルチギガヘルツコムの周波数可変化技術を開発し、そのようなコムを用いた計測応用を検討した。
    課題番号:25286065
  • シングルショット-フェムト秒時間分解光周波数コムアナライザの研究               
    日本学術振興会, 科学研究費助成事業, 挑戦的萌芽研究, 2013年04月01日 - 2015年03月31日
    塩田 達俊, 埼玉大学
    配分額(総額):3900000, 配分額(直接経費):3000000, 配分額(間接経費):900000
    既存の計測手法に頼らず、非対称な超高速波形を高感度に計測できるフーリエ空間の多波長電界ヘテロダイン検波法と呼ばれる手法を開発した。光コムの隣接ピーク間の相対位相を、参照光コムを用いて検出する。フーリエ空間光源システムの試作・動作を下記項目に沿って行った。
    1. 25GHz光周波数コム(256波)をシード光とした200GHz光周波数コム(32波)を生成した。
    2. 光コムのパルス列をスペクトル領域つまり光コムの電界スペクトルをデジタイザにより波形時間内に測定することに成功した。測定した光電界スペクトルを逆フーリエ変換することで繰返し時間内で時間波形を測定して再現することに成功した。
    課題番号:25600114
  • 超高速ホログラフィック光周波数コム合成法の研究               
    日本学術振興会, 科学研究費助成事業, 若手研究(A), 2011年04月01日 - 2014年03月31日
    塩田 達俊
    配分額(総額):27430000, 配分額(直接経費):21100000, 配分額(間接経費):6330000
    フェムト秒時間分解能で光波形の制御と計測を実現するために、新たな光信号処理と計測技術を考案した。ピーク間隔100ギガヘルツ以上の光周波数コムを生成し、そのピーク毎の振幅・位相を制御できる光回路を構築した。また、複数のピーク間の位相スペクトルを測定できる二波長同時ヘテロダイン検波法を考案した。これらの制御系と計測系を融合すると、フェムト秒時間領域での任意光波形を周波数領域で制御することが可能になる。これをフェムト秒光周波数コム合成・解析法とし、光周波数コムの振幅・位相スペクトルの制御を行い、フェムト秒からピコ秒領域の超高速任意光波形の発生と計測に成功した。
    課題番号:23686014
  • 光周波数コムを利用した周波数&時間分解近接場磁気光学顕微鏡の研究開発               
    日本学術振興会, 科学研究費助成事業, 基盤研究(B), 2011年04月01日 - 2014年03月31日
    石橋 隆幸; 塩田 達俊, 長岡技術科学大学
    配分額(総額):17680000, 配分額(直接経費):13600000, 配分額(間接経費):4080000
    ナノ領域での磁気特性を評価するため、アパーチャーレスプローブを用いたSNOMの構築と、偏光特性の調査をおこなった。その結果、約10 nmの空間分解能と良好な偏光特性を実現するとともに、アパーチャーレスSNOMにおいて問題であった背景光と信号光の分離に成功した。FDTDシミュレーションでは、実験で得られた偏光特性をほぼ正確に再現することに成功し、プローブ周辺の電場分布を理解することができた。さらに、時間分解測定を実現するための装置の構築を行った。
    課題番号:23310073
  • プロジェクション方式とレンチキュラ方式のハイブリット型立体表示に関する研究               
    日本学術振興会, 科学研究費助成事業, 基盤研究(B), 2008年 - 2010年
    高木 康博; 塩田 達俊, 東京農工大学
    配分額(総額):18720000, 配分額(直接経費):14400000, 配分額(間接経費):4320000
    眼精疲労のない人に優しい自然な立体ディスプレイを実現するためには、非常に多くの画像を同時に表示する必要がある。本研究では、レンチキュラ方式とマルチプロジェクション方式の構成方法を組み合わせた新しい立体ディスプレイの構成方法としてハイブリッド型の構成方法を提案した。ハイブリッド型の構成方法を用いて、256枚の画像を表示する立体ディスプレイシステムを試作した。試作システムに対する人間の眼の調節応答を測定し、眼精疲労のない奥行き表示範囲が拡大することを確かめた。
    課題番号:20360153
  • 光周波数コム光源を用いた3次元顕微鏡の分解能向上と計測の高速化               
    日本学術振興会, 科学研究費助成事業, 若手研究(B), 2008年 - 2009年
    塩田 達俊
    配分額(総額):4420000, 配分額(直接経費):3400000, 配分額(間接経費):1020000
    非線形ファイバを含み光パルスシンセサイザによる任意波形生成システムを光源とする3次元形状計測の実験系を組み、効率よく広帯域なスーパーコンティニューム光が得られる条件を確定した。3nm程度であった種光源のスペクトル帯域は、上記システムにより80nm程度まで拡大することがわかった。このとき、分解能は35micronとなった。
    課題番号:20760031
  • 光変調器を用いた光周波数掃引による高分解能分光システム               
    日本学術振興会, 科学研究費助成事業, 若手研究(B), 2006年 - 2007年
    塩田 達俊
    配分額(総額):3600000, 配分額(直接経費):3600000
    高分解能な分光システムは基礎科学から応用まで幅広いニーズがある。これまで分解能1MHz、計測範囲100GHzと高性能なシステムが実現されているが、光周波数標準や物理化学過程の追跡などの進展のためにさらに性能の向上が望まれてきた。申請者は課題実施までに単側波(SSB)光変調器を用いて光周波数を高精度に且つプログラマブルに制御してスペクトル計測システムの実現を図ってきた。本研究課題では、SSB光変調器スペクトル計測システムの分解能を向上し、これまでの周波数制御システムをベースにして、新たに周波数安定化した光源を導入してシステムの性能を発展させることを目的とした。
    平成19年度は、前年度までに構築した高分解スペクトル計測システムの計測範囲の広帯域化をはかった。また、光変調器を用いたシステム全体を構築して計測精度の確認を行った。具体的には5THz以上の周波数帯域を示す光周波数コムを光源として光フィルタにより個々のピークを切り出し、光変調器による高精度な光周波数掃引を行う実験系を構築した。光ファイバとインライン半透鏡を組み合せて構築した1MHz線幅の共振器の透過スペクトルを計測することで、実測値として1MHzの分解能を確認した。さらに、H^<13>C^<14>Nガス(圧力約1Tprr、長さ約80cm)を用いた繰り返し計測から1MHz以下の光周波数計測精度を得た。また、光フィルタの掃引による光周波数コムのピークを選択することで1THz以上の計測帯域を得ることを確認した。
    課題番号:18760038
  • 時空間多重表示を用いた自然な三次元ディスプレイの研究               
    日本学術振興会, 科学研究費助成事業, 基盤研究(B), 2006年 - 2007年
    高木 康博; 塩田 達俊, 東京農工大学
    配分額(総額):17050000, 配分額(直接経費):14800000, 配分額(間接経費):2250000
    1.時間多重表示モジュールの実現
    高密度指向性表示を行う時間多重表示モジュールを提案した。これは、ひとつの表示モジュールで複数の指向性画像を異なる水平方向へ表示する。高フレームレート表示デバイスを変形二次元配置した光源アレイで照明し、指向性確保のために結像系に光源アレイと相似な配列の開口アレイを配置する。
    高フレームレート表示デバイスにはDMDを用い、光源アレイには白色LEDアレイを用いた。指向性画像間のクロストークと結像系の収差の評価から、多重度を15に決定した。実際に時間多重表示モジュールを設計・試作した。DMDをフレームレート900Hzで駆動し、60Hzのフレームレートで15個の指向性画像の表示を実現した。
    2.時間多重光学エンジンの実現
    複数台の時間多重表示モジュールを変形2次元配置して空間的に多重化することで、多数の指向性画像を表示する時間多重光学エンジンを実現した。すべてのモジュールは、モジュールの開口アレイの開口部が水平方向に連続になるように、水平位置が一致しないように縦横に変形二次元配置する。
    時間多重表示モジュールを4台試作し、これらを変形2次元配置して、60指向性表示を行う時間多重光学エンジンを実現した。
    3.時間多重高密度指向性ディスプレイの実現
    時間多重光学エンジンに共有レンズと垂直方向拡散板を組み合わせて、多重結像系を構成し、時間多重高密度指向性ディスプレイを実現した。
    共有レンズとして組み合わせフレネルレンズを用い、垂直方向拡散板としてレンチキュラシートを用いた。異なる水平方向へ0.31°ピッチで60方向への画像表示を実現した。
    4.制御システム
    1台のPCで4台のモジュールの制御を実現した。プロジェクション型画像表示システムでは、収差による画像歪みが生じるので、表示画像を逆に歪ませて表示することで、画像歪み補正を行った。すべての指向性画像に対して画像歪みを測定し、歪み補正テーブルを用意した。
    課題番号:18360165
  • RF制御による光周波数コムを利用した3次元顕微鏡の研究               
    日本学術振興会, 科学研究費助成事業, 基盤研究(B), 2006年 - 2007年
    黒川 隆志; 塩田 達俊; 武田 光夫, 東京農工大学
    配分額(総額):16610000, 配分額(直接経費):14900000, 配分額(間接経費):1710000
    (1)コム発生系の広帯域化と深さ分解能の改善
    コム発生器の後段に試作した等価フィルタと光増幅器を設置し、コムのスペクトル帯域が約3倍広帯域化した。これを光源として光干渉計へ適用した結果、適用前に100μmだった深さ分解能は、40μm以下に改善された。次に、非共振器型周波数コム発生器とパルスシンセサイザによりジッターとチャープの少ない種パルスを生成し、これを高非線形分散シフトファイバに導入して、コム間隔の可変化と広帯域化が可能なスーパーコンティニュウム光発生を言った。2kmのときにはピークパワー5.5Wのときに今回の最大帯域幅60nmまで拡大された。また200MHzの掃引コム間隔周波数が可能であった。これにより、深さ分解能は、30μmまで改善された。
    (2)空間光学干渉計の設計と構築
    1次元イメージセンサを用いた空間光学干渉計の設計と製作を行った。シリドリンカルレンズと対物レンズを導入することにより、顕微鏡干渉光学系を構成した。横(水平)方向空間分解能は8μmとなり、光コヒーレンストモグラフィへ応用できることを確認した。
    (3)3次元顕微鏡の基本動作の確認
    コム間隔周波数の掃引、イメージセンサの制御とデータ取得を一括してコンピュータ制御する系を構築して、3次元顕微鏡の基本動作を確認した。コム間隔周波数は25GHzを中心に10MHz掃引することで、約1mmの深さを観察することができた。3次元画像の取得時間約1分の性能を確認した。基本的な3次元画像として10円玉表面の凹凸形状を計測して"十"文字を深さ分解能40μm以下、水平方向分解能8μm程度で鮮明な画像が得られることを示した。また、ガラス膜の膜厚測定も精度数ミクロンでおこなえることを確認し、トモグラフィへの応用も可能なことを確認した。
    課題番号:18360164
  • 周波数コムを用いた光コヒーレンス・トモグラフィの研究               
    日本学術振興会, 科学研究費助成事業, 基盤研究(B), 2004年 - 2005年
    黒川 隆志; 田中 洋介; 塩田 達俊; 武田 光夫, 東京農工大学
    配分額(総額):15300000, 配分額(直接経費):15300000
    従来の光による形状計測では、広帯域光源を用いた低コヒーレンス干渉や波長可変レーザを用いた波長走査法やコヒーレンス関数合成法のように時間平均として仮想的な周波数コム合成法も試みられている。しかし、これらは周波数間隔とコム発生法に制限が多く、ファイバセンシングのような距離計測に対しての応用に限られている。本研究では光周波数コムの周波数帯域を広帯域化して、周波数間隔数十GHzの光コムを用いた新しい表面形状法を提案し、本方式を適用して段差計測または膜厚計測を行った。
    平成16年度は光周波数コムの発生方法として、波長1550nmのレーザー光を直列につながれた2個の位相変調器に入射することで12 GHz間隔で、帯域500 GHzの周波数コムを発生した。この時、片方の位相変調器に逓倍器によって2倍波の変調信号を入力することでより広い帯域の周波数コムが得られた。この手法により0.1mmから10mに及ぶ範囲で任意の深さの表面形状を物理的な稼動部を必要せずに計測することができる。実験によって計測精度300μmが得られた。
    平成17年度はさらに高分解能な計測を実現するために,コムのピーク間隔を2倍に広げた上に共振器内に位相変調器を設置して光周波数コムの帯域を広げる方法を用いた。その結果,帯域は約10 THzとなり前年度の約20倍の帯域が得られた。ここで共振器の周波数特性を利用すると約30MHzから40MHzの範囲を掃引できることがわかった。この光源を実験に応用500μmの膜厚のガラス板を試料として繰返し計測を行った。その結果,帯域は約10 THzとなり計測の精度を19.7μmとすることに成功した。
    課題番号:16360027
TOP