埼玉大学における技術者倫理教育 生産原論
池野順一
Volume：110-1068, Number：A95, First page：874, Last page：877, 2007
ＩＴ機器先端光学部品の超精密鏡面創成法に関する研究開発
池野 順一
Number：5(18年度), First page：161, Last page：162, 2007
Mirror Grinding of Optical Glass by EPD Pellets
Hideo SHIBUTANI; Jun-ichi IKENO; Akihiko SUZUKI
Volume：7, Number：205, First page：355, Last page：358, 2007
New Laser Micro-fabrication for Creating Surface Functions
Wakabayashi, M; Ikeno, J.-I; Shibutani, H; Suzuki, A
First page：461, Last page：464, 2007
埼玉大学における技術者倫理教育 生産原論
池野順一
日本機械学会誌, Volume：110-1068, Number：A95, First page：874, Last page：877, 2007
ＩＴ機器先端光学部品の超精密鏡面創成法に関する研究開発
池野 順一
総合研究機構研究プロジェクト研究成果報告書, Number：5(18年度), First page：161, Last page：162, 2007
Mirror Grinding of Optical Glass by EPD Pellets
Hideo SHIBUTANI; Jun-ichi IKENO; Akihiko SUZUKI
Proceedings of the 4th International Conference of Leading Edge Manufacturing in 21st Century (LEM21), Volume：7, Number：205, First page：355, Last page：358, 2007
New Laser Micro-fabrication for Creating Surface Functions
Wakabayashi, M; Ikeno, J.-I; Shibutani, H; Suzuki, A
Proceedings of The Twenty-second Annual ASPE Meeting, First page：461, Last page：464, 2007
Nano-abrasion machining of brittle materials and its application to corrective figuring Osamu Horiuchi; Junichi Ikeno; Hideo Shibutani; Hirofumi Suzuki; Yoshiaki Mizukami
PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE INTERNATIONAL SOCIETIES FOR PRECISION ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY,
Volume：31,
Number：1,
First page：47,
Last page：54, Jan. 2007
A method of ultraprecision abrasion machining named "Nano-abrasion machining" is proposed for optical finishing of brittle materials. The fundamental characteristics and its applicability for corrective figuring to improve form accuracy of optics of brittle materials are investigated. It is experimentally ascertained that the material removal rate and surface roughness are suitable for optical finishing. However, the cross-sectional profile of the machined spot that is dependent on the collision angle is a combination of V- and W-shape, which is unsuitable for the corrective figuring. Therefore. circular motion machining is introduced and a preferable profile with an axis-symmetric V-shape is realized. The machining method is applied to corrective figuring of optical glass of BK7. The NC program is generated with a computer program developed by modifying the scanning motion and the form accuracy is predicted. According to the simulation results, corrective figuring is performed. The flatness is improved from PV = 151 to 29 nm. From the experimental results, it is clarified that the nano-abrasion machining is applicable to corrective figuring of brittle materials. (c) 2006 Elsevier Inc. All rights reserved.
ELSEVIER SCIENCE INC, English
DOI：https://doi.org/10.1016/j.precisioneng.2006.02.005DOI ID：10.1016/j.precisioneng.2006.02.005,
ISSN：0141-6359,
CiNii Articles ID：10018659608,
Web of Science ID：WOS:000242881800006 生産原論専門委員会報告
河西敏雄; 池野順一
Volume：72, Number：10, First page：1193, Last page：1196, 2006
レーザトラッピング時における回転現象を利用した超精密変位計測に関する研究
池野順一
First page：13, Last page：20, 2006
光放射圧を利用したマイクロファブリケーション
池野順一
Volume：44, Number：1, First page：23, Last page：29, 2006
レーザマイクロ加工
池野順一
Volume：7, First page：31, Last page：53, 2006
生産原論専門委員会報告
河西敏雄; 池野順一
精密工学会誌, Volume：72, Number：10, First page：1193, Last page：1196, 2006
レーザトラッピング時における回転現象を利用した超精密変位計測に関する研究
池野順一
三豊科学技術振興協会研究成果報告書, First page：13, Last page：20, 2006
光放射圧を利用したマイクロファブリケーション
池野順一
光技術コンタクト, Volume：44, Number：1, First page：23, Last page：29, 2006
レーザマイクロ加工
池野順一
砥粒加工学会HEAT専門委員会第7回研究会資料, Volume：7, First page：31, Last page：53, 2006
天然砥石に学ぶ超精密研削用砥石に関する研究 天然砥石の構造解析と層状砥石の試作 斉藤奈美子; 池野順一; 竹村貴人
Volume：71,
Number：12,
First page：1531,
Last page：1535, 2005
DOI：https://doi.org/10.2493/jspe.71.1531DOI ID：10.2493/jspe.71.1531 研究プロジェクト「マイクロ／ナノスケール計測制御テクノセンタ ー」活動報告<研究成果報告>
水野 毅; 川橋 正昭; 大八木 重治; 加藤 寛; 佐藤 勇一; 堀尾 健一郎; 豊岡 了; 荒居 善雄; 綿貫 啓一; 池野 順一; 小原 哲郎; 高崎 正也
Volume：1, Number：38, First page：114, Last page：118, 2005
ナノサイズセリア固定砥粒によるプラナリゼーション加工技術
池野順一
Volume：47, First page：43, Last page：88, 2005
ナノサイズ板状酸化セリウム（NanoPOP）の開発とその研削・研磨用途への応用
岸本幹雄; 大下 格; 池野順一
Volume：4, Number：10, First page：60, Last page：63, 2005
Development of a New Ultra-precision Grinding Wheel Based on the Structure of Natural Whetstones (1st report) : Structural Analysis of Natural Whetstones and Manufacture of Layer-shaping Grinding Wheel SAITO Namiko; IKENO Junichi; TAKEMURA Takato
Journal of the Japan Society for Precision Engineering. Supplement. Contributed papers,
Volume：71,
Number：12,
First page：1531,
Last page：1535, 2005
Polishing is widely used in the finishing process of hard and brittle materials. This is because the surfaces finished by polishing don't contain damage, and their degree of roughness is less than that of other processes. However, polishing has some disadvantages; for example, low efficiency and also the effect that the waste material which is generated may have on the environment. Conversely, a grinding process has the following advantages; it is highly efficient, more environmentally friendly and various shapes can easily be obtained. However, the surface quality is worse than that of polishing. Therefore, if a new mirror-grinding wheel can be developed, we will be able to obtain a smooth ground surface as good as polishing. Historically, people have used some specific natural stones as grinding tools. Some of them outperform artificial grinding tools in the finishing process. In this paper, the fundamental characteristics of natural whetstones will be examined. It was found that their structure was composed of layers. Also, a new grinding wheel has been developed. It has a layered structure, and flake graphite was used for the layers. The capability of the newly developed grinding stone was measured by performing a dry grinding test. The work material was a silicon wafer. The ground surface roughness, Ra, was improved from 14nm to 3nm. This grinding stone could be used for mirror grinding.
The Japan Society for Precision Engineering, Japanese
DOI：https://doi.org/10.2493/jspe.71.1531DOI ID：10.2493/jspe.71.1531,
ISSN：1348-8724,
CiNii Articles ID：110002545860,
CiNii Books ID：AA11966630 研究プロジェクト「マイクロ／ナノスケール計測制御テクノセンタ ー」活動報告<研究成果報告>
水野 毅; 川橋 正昭; 大八木 重治; 加藤 寛; 佐藤 勇一; 堀尾 健一郎; 豊岡 了; 荒居 善雄; 綿貫 啓一; 池野 順一; 小原 哲郎; 高崎 正也
埼玉大学紀要, 工学部, 第1部論文集, Volume：1, Number：38, First page：114, Last page：118, 2005
Mirror Grinding of Quartz-Crystal with EPD Pellet H. Shibutani; J. Ikeno; O. Horiuchi; H. Suzuki
The Third International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century, The Japan Society of Mechanical Engineers (JSME) Manufacturing and Machine Tool Division, Manufacturing System Division,
Volume：2,
First page：659,
Last page：662, 2005
Fine silica abrasives wheel by electrophoretic deposition phenomenon, EPD pellet, was fabricated and applied to mirror grinding of 3 inches quartz-crystal wafers for the purpose of evaluating the grinding performance. Then, EPD pellets made a mirror surface and the final roughness was 6.5nmRy. The time required for making the mirror surface was less than 10min. No residual strain was found on the ground surface.
Scopus：https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=84883705095&origin=inwardScopus Citedby：https://www.scopus.com/inward/citedby.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=84883705095&origin=inwardSCOPUS ID：84883705095 ナノサイズセリア固定砥粒によるプラナリゼーション加工技術
池野順一
プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会研究会資料, Volume：47, First page：43, Last page：88, 2005
ナノサイズ板状酸化セリウム（NanoPOP）の開発とその研削・研磨用途への応用
岸本幹雄; 大下 格; 池野順一
MATERIAL STAGE, Volume：4, Number：10, First page：60, Last page：63, 2005
天然砥石に学ぶ超精密研削用砥石に関する研究 天然砥石の構造解析と層状砥石の試作 斉藤奈美子; 池野順一; 竹村貴人
精密工学会誌,
Volume：71,
Number：12,
First page：1531,
Last page：1535, 2005
Polishing is widely used in the finishing process of hard and brittle materials. This is because the surfaces finished by polishing don't contain damage, and their degree of roughness is less than that of other processes. However, polishing has some disadvantages; for example, low efficiency and also the effect that the waste material which is generated may have on the environment. Conversely, a grinding process has the following advantages; it is highly efficient, more environmentally friendly and various shapes can easily be obtained. However, the surface quality is worse than that of polishing. Therefore, if a new mirror-grinding wheel can be developed, we will be able to obtain a smooth ground surface as good as polishing. Historically, people have used some specific natural stones as grinding tools. Some of them outperform artificial grinding tools in the finishing process. In this paper, the fundamental characteristics of natural whetstones will be examined. It was found that their structure was composed of layers. Also, a new grinding wheel has been developed. It has a layered structure, and flake graphite was used for the layers. The capability of the newly developed grinding stone was measured by performing a dry grinding test. The work material was a silicon wafer. The ground surface roughness, Ra, was improved from 14nm to 3nm. This grinding stone could be used for mirror grinding.
The Japan Society for Precision Engineering, Japanese
DOI：https://doi.org/10.2493/jspe.71.1531DOI ID：10.2493/jspe.71.1531,
ISSN：1348-8724,
CiNii Articles ID：110002545860,
CiNii Books ID：AA11966630 Grinding Performance of Thin-Plate Silica EPD Pellet to Silicon Wafer. SHIBUTANI Hideo; FUKAZAWA Takashi; FUWA Naruto; IKENO Jun-ichi; SUZUKI Hirofumi; HORIUCHI Osamu
TRANSACTIONS OF THE JAPAN SOCIETY OF MECHANICAL ENGINEERS Series C,
Volume：68,
Number：673,
First page：2791,
Last page：2796, 2002
Grinding performance of fine abrasive grinding wheel to silicon wafer were investigated. In this study, thin-plate silica powder, tens μm in length and 1 μm in width, were applied as a abrasive for grinding wheel. The grinding wheel were fabricated using a electrophoretic deposition phenomenon, it was called "EPD pellet", and thin-plate silica abrasives could be arranged in a one-way direction in the EPD pellet. Grinding efficiency of thin-plate silica EPD pellet was twice as high as a conventional EPD pellet which was consist of spherical silica abrasive. Warp of thin-wafer, 150 μm in thickness ground by diamond wheel, were decreased with the progress of EPD grinding. This result shows that a residual strain by a diamond wheel could be removed by EPD grinding.
The Japan Society of Mechanical Engineers, Japanese
DOI：https://doi.org/10.1299/kikaic.68.2791DOI ID：10.1299/kikaic.68.2791,
ISSN：0387-5024,
eISSN：1884-8354,
CiNii Articles ID：130004234474 薄片状シリカEPDペレットによるシリコンウエハの研削特性(機械要素,潤滑,工作,生産管理など) 池野 順一; 澁谷 秀雄; 深澤; 不破 徳人; 鈴木 浩文; 堀内 宰
日本機械学會論文集C編,
Volume：68,
Number：673,
First page：2791,
Last page：2796, 2002
DOI：https://doi.org/10.1299/kikaic.68.2791DOI ID：10.1299/kikaic.68.2791 レーザ光線を利用した3次元微小構造物の組立技術に関する研究（第2報） 森幸博; 澤木大輔; 堀内宰
Volume：65,
Number：633,
First page：2110,
Last page：2115, 1999
DOI：https://doi.org/10.1299/kikaic.65.2110DOI ID：10.1299/kikaic.65.2110,
ISSN：0387-5024,
CiNii Articles ID：110002384192 永久磁石式磁気軸受併用によるエアスピンドルの高密度高剛性化 崔新; 竹ノ内哲也; 堀内宰; 高巣周平
Volume：65,
Number：4,
First page：615,
Last page：619, 1999
DOI：https://doi.org/10.2493/jjspe.65.615DOI ID：10.2493/jjspe.65.615,
ISSN：0912-0289,
CiNii Articles ID：110001372681 レーザ光線を利用した3次元微小構造物の組立技術に関する研究（第2報） 森幸博; 澤木大輔; 堀内宰
日本機械学会論文集C編,
Volume：65,
Number：633,
First page：2110,
Last page：2115, 1999
DOI：https://doi.org/10.1299/kikaic.65.2110DOI ID：10.1299/kikaic.65.2110,
ISSN：0387-5024,
CiNii Articles ID：110002384192 永久磁石式磁気軸受併用によるエアスピンドルの高密度高剛性化 崔新; 竹ノ内哲也; 堀内宰; 高巣周平
精密工学会誌,
Volume：65,
Number：4,
First page：615,
Last page：619, 1999
DOI：https://doi.org/10.2493/jjspe.65.615DOI ID：10.2493/jjspe.65.615,
ISSN：0912-0289,
CiNii Articles ID：110001372681 レーザ光線を利用した3次元微小構造物の組立技術に関する研究（第1報） 澤木大輔; 森幸博; 堀内宰
Volume：64,
Number：627,
First page：4434,
Last page：4439, 1998
DOI：https://doi.org/10.1299/kikaic.64.4434DOI ID：10.1299/kikaic.64.4434,
ISSN：0387-5024,
CiNii Articles ID：110002393675 Crack-free and 3-Dimensional YAG Laser Processing of Glass-ceramics IKENO Junichi; MASUGI Yutaka; HORIUCHI Osamu; KASAI Toshio; KOBAYASHI Akira
Journal of the Japan Society of Precision Engineering,
Volume：64,
Number：7,
First page：1062,
Last page：1066, 1998
When a YAG laser beam which has a diameter of 200μm irradiates on a glass-ceramics surface with an energy less than 1.3 J/pulse, the glass remains unchanged, while the energy of which is more than 1.3 J/pulse, the glass breaks instantaneously by the incident. Therefore, it was usually considered impossible to process the glass-ceramics by YAG laser irradiation method. In this paper, a newly developed crack-free and 3-dimensional glass-ceramics processing method using YAG laser is studied. Firstly, the mechanism of the destruction was examined. It was found that the destruction was caused by a melting phenomenon which induced a high thermal stress in the workpiece. To overcome this problem, it was necessary to form a crack-free processing on the surface of workpiece and then to scatter the melt into the air. According to the experimental results, it was found that a crack-free drilled hole could be processed when YAG laser beam irradiated on the surface with paints applied to absorb the laser beam continuously. Secondly, the mechanism of growth of the drilled hole was examined. By the results of observation and analyses, it was found that the growth could be attained by melted layer on the bottom of a hole. Finally, a new crack-free and 3-dimensional YAG laser processing method was developed and discussed. Since holes are always drilled along the incident direction of laser, a crack-free and 3-dimensional drilled hole was realized by changing the YAG laser incident direction.
The Japan Society for Precision Engineering, Japanese
DOI：https://doi.org/10.2493/jjspe.64.1062DOI ID：10.2493/jjspe.64.1062,
ISSN：0912-0289,
CiNii Articles ID：110001372484,
CiNii Books ID：AN1003250X レーザ光線を利用した3次元微小構造物の組立技術に関する研究（第1報） 澤木大輔; 森幸博; 堀内宰
日本機械学会論文集C編,
Volume：64,
Number：627,
First page：4434,
Last page：4439, 1998
DOI：https://doi.org/10.1299/kikaic.64.4434DOI ID：10.1299/kikaic.64.4434,
ISSN：0387-5024,
CiNii Articles ID：110002393675 結晶化ガラスのクラックフリー・3次元加工 真杉豊; 堀内宰; 河西敏雄; 小林昭
精密工学会誌,
Volume：64,
Number：7,
First page：1062,
Last page：1066, 1998
When a YAG laser beam which has a diameter of 200μm irradiates on a glass-ceramics surface with an energy less than 1.3 J/pulse, the glass remains unchanged, while the energy of which is more than 1.3 J/pulse, the glass breaks instantaneously by the incident. Therefore, it was usually considered impossible to process the glass-ceramics by YAG laser irradiation method. In this paper, a newly developed crack-free and 3-dimensional glass-ceramics processing method using YAG laser is studied. Firstly, the mechanism of the destruction was examined. It was found that the destruction was caused by a melting phenomenon which induced a high thermal stress in the workpiece. To overcome this problem, it was necessary to form a crack-free processing on the surface of workpiece and then to scatter the melt into the air. According to the experimental results, it was found that a crack-free drilled hole could be processed when YAG laser beam irradiated on the surface with paints applied to absorb the laser beam continuously. Secondly, the mechanism of growth of the drilled hole was examined. By the results of observation and analyses, it was found that the growth could be attained by melted layer on the bottom of a hole. Finally, a new crack-free and 3-dimensional YAG laser processing method was developed and discussed. Since holes are always drilled along the incident direction of laser, a crack-free and 3-dimensional drilled hole was realized by changing the YAG laser incident direction.
The Japan Society for Precision Engineering, Japanese
DOI：https://doi.org/10.2493/jjspe.64.1062DOI ID：10.2493/jjspe.64.1062,
ISSN：0912-0289,
CiNii Articles ID：110001372484,
CiNii Books ID：AN1003250X
表面機能を発現するレーザ微細加工
2009
表面機能を発現するレーザ微細加工
精密工学会学術講演会講演論文集, 2009
レーザ微細加工に関する研究 ナノ粒子創成による発色現象
2007
レーザ割断ガラス上の溝創成メカニズムの解明に関する研究
2007
レーザインプリント法によるガラスの微細加工に関する研究
2007
高精度研磨加工に関する基礎的研究
2007
鏡面微細形状を創成するレーザ加工
2007
レーザを併用したガラスの微細成形法に関する研究
2007
珪酸ソーダを結合剤に用いた砥石に関する研究 鏡面創成用砥石の試作
2007
ガラス箔のレーザ微細曲げ加工に関する研究
2007
ナノ粒子の表面プラズモンを利用したレーザカラーマーキング法に関する研究（第２報）
2007
AGレーザによる微細ガラスファイバの曲げ加工に関する研究
2007
表面機能を発現するフェムト秒レーザ微細加工に関する研究
2007
YAGレーザによる微細ガラスファイバの曲げ加工に関する研究
2007
YAGレーザを用いたガラスのインプリントに関する研究
2007
フェムト秒レーザを用いたカラーマーキング法に関する研究
2007
硬脆材料の鏡面研削に及ぼすミスト噴霧の効果
2007
ナノ粒子の表面プラズモンを利用したレーザカラーマーキング法に関する研究
2007
レーザ微細加工に関する研究 ナノ粒子創成による発色現象
日本機械学会講演論文集（九州支部・中国四国支部合同企画沖縄講演会）, 2007
レーザ割断ガラス上の溝創成メカニズムの解明に関する研究
日本機械学会関東支部ブロック合同講演会-2007さいたま 講演論文集, 2007
レーザインプリント法によるガラスの微細加工に関する研究
日本機械学会関東支部ブロック合同講演会-2007さいたま 講演論文集, 2007
高精度研磨加工に関する基礎的研究
ATECC2007 講演論文集, 2007
鏡面微細形状を創成するレーザ加工
ATECC2007 講演論文集, 2007
レーザを併用したガラスの微細成形法に関する研究
ATECC2007 講演論文集, 2007
珪酸ソーダを結合剤に用いた砥石に関する研究 鏡面創成用砥石の試作
ATECC2007 講演論文集, 2007
ガラス箔のレーザ微細曲げ加工に関する研究
2007年度精密工学会秋季大会学術講演会論文集, 2007
ナノ粒子の表面プラズモンを利用したレーザカラーマーキング法に関する研究（第２報）
2007年度精密工学会秋季大会学術講演会論文集, 2007
AGレーザによる微細ガラスファイバの曲げ加工に関する研究
2007年度精密工学会春季大会学術講演会論文集, 2007
表面機能を発現するフェムト秒レーザ微細加工に関する研究
2007年度精密工学会春季大会学術講演会論文集, 2007
YAGレーザによる微細ガラスファイバの曲げ加工に関する研究
2007年度精密工学会春季大会学術講演会論文集, 2007
YAGレーザを用いたガラスのインプリントに関する研究
2007年度精密工学会春季大会学術講演会論文集, 2007
フェムト秒レーザを用いたカラーマーキング法に関する研究
2007年度精密工学会春季大会学術講演会論文集, 2007
硬脆材料の鏡面研削に及ぼすミスト噴霧の効果
2007年度精密工学会春季大会学術講演会論文集, 2007
ナノ粒子の表面プラズモンを利用したレーザカラーマーキング法に関する研究
2006年度精密工学会春季大会学術講演会論文集, 2007
ガラスのレーザインプリントに関する研究
2006
埼玉大学における生産原論の講義について
2006
レーザ割断を利用したガラス上の鏡面溝創成法に関する研究(第３報)
2006
フェムト秒レーザを用いたガラス内部のカラーマーキングに関する研究
2006
研磨技術改善のための技術分析(2) AREC(Activate Reactive Chemical)ラッピング・ポリシングの提案
2006
天然物に学ぶ鏡面研削用砥石に関する研究
2006
SiOx粒子を用いた鏡面研削用砥石に関する研究
2006
気相法炭素繊維(VGCF)を添加した鏡面創成砥石に関する研究
2006
レーザ光線による微小ガラス球の作製とその応用に関する研究
2006
レーザを用いたガラスの凹凸微細形状創成に関する研究
2006
2ビーム法を用いたガラスの3次元レーザ微細割断法に関する研究
2006
3次元レーザ割断によるガラスの鏡面溝創成法に関する研究(第2報)
2006
光の干渉を利用したfsレーザ微細加工に関する研究
2006
ガラスのレーザインプリントに関する研究
日本機械学会第6回生産加工・工作機械部門講演会論文集, 2006
埼玉大学における生産原論の講義について
2006年度精密工学会秋季大会学術講演会論文集, 2006
レーザ割断を利用したガラス上の鏡面溝創成法に関する研究(第３報)
2006年度精密工学会秋季大会学術講演会論文集, 2006
フェムト秒レーザを用いたガラス内部のカラーマーキングに関する研究
砥粒加工学会学術講演会ABTEC2006, 2006
研磨技術改善のための技術分析(2) AREC(Activate Reactive Chemical)ラッピング・ポリシングの提案
2006年度精密工学会春季大会学術講演会論文集, 2006
天然物に学ぶ鏡面研削用砥石に関する研究
2006年度精密工学会春季大会学術講演会論文集, 2006
SiOx粒子を用いた鏡面研削用砥石に関する研究
2006年度精密工学会春季大会学術講演会論文集, 2006
気相法炭素繊維(VGCF)を添加した鏡面創成砥石に関する研究
2006年度精密工学会春季大会学術講演会論文集, 2006
レーザ光線による微小ガラス球の作製とその応用に関する研究
2006年度精密工学会春季大会学術講演会論文集, 2006
レーザを用いたガラスの凹凸微細形状創成に関する研究
2006年度精密工学会春季大会学術講演会論文集, 2006
2ビーム法を用いたガラスの3次元レーザ微細割断法に関する研究
2006年度精密工学会春季大会学術講演会論文集, 2006
3次元レーザ割断によるガラスの鏡面溝創成法に関する研究(第2報)
2006年度精密工学会春季大会学術講演会論文集, 2006
光の干渉を利用したfsレーザ微細加工に関する研究
2006年度精密工学会春季大会学術講演会論文集, 2006
表面機能を発現するレーザ微細加工
2005
硬脆材料の鏡面研削砥石に関する研究 EPD研削における粗さの原因究明
2005
研磨技術改善のための技術分析(1)
2005
新しいBell-Jar型CMP装置による加工特性の検討(第9報) 固定砥粒を適用したガス雰囲気中におけるSiC基板の加工特性
2005
情報機器に用いられる水晶光学部品の鏡面研削加工の研究
2005
合砥に学ぶ超精密研削用砥石に関する研究
2005
超鏡面加工に適したナノサイズ板状セリア粒子の開発
2005
レーザ割断を利用したガラス上の鏡面溝創成法に関する研究
2005
フェムト秒レーザによる微細加工法に関する研究
2005
TiNi形状記憶合金のレーザーピーニング加工
2005
レーザ照射による金属の隆起現象を利用した3次元微小構造物の作製(第2報) 加工雰囲気の影響
2005
レーザトラッピングを用いた微粒子の分別に関する研究
2005
金ナノ粒子創成によるレーザカラーマーキング法
2005
技術者が直面している諸問題(5)
2005
2ビームを用いたガラスの3次元レーザ微細割断法
2005
ナノダイヤモンドを用いた鏡面研削砥石の開発
2005
Mirror Grinding of Quartz-Crystal with EPD Pellet
2005
表面機能を発現するレーザ微細加工
2005年度砥粒加工学会学術講演会論文集, 2005
硬脆材料の鏡面研削砥石に関する研究 EPD研削における粗さの原因究明
日本機械学会2005年度年次大会講演論文集, 2005
研磨技術改善のための技術分析(1)
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会論文集, 2005
新しいBell-Jar型CMP装置による加工特性の検討(第9報) 固定砥粒を適用したガス雰囲気中におけるSiC基板の加工特性
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会論文集, 2005
情報機器に用いられる水晶光学部品の鏡面研削加工の研究
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会論文集, 2005
合砥に学ぶ超精密研削用砥石に関する研究
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会論文集, 2005
超鏡面加工に適したナノサイズ板状セリア粒子の開発
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会論文集, 2005
レーザ割断を利用したガラス上の鏡面溝創成法に関する研究
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会論文集, 2005
フェムト秒レーザによる微細加工法に関する研究
2005年度精密工学会秋季大会学術講演会論文集, 2005
TiNi形状記憶合金のレーザーピーニング加工
2005年度精密工学会春季大会学術講演会論文集, 2005
レーザ照射による金属の隆起現象を利用した3次元微小構造物の作製(第2報) 加工雰囲気の影響
2005年度精密工学会春季大会学術講演会論文集, 2005
レーザトラッピングを用いた微粒子の分別に関する研究
2005年度精密工学会春季大会学術講演会論文集, 2005
金ナノ粒子創成によるレーザカラーマーキング法
2005年度精密工学会春季大会学術講演会論文集, 2005
技術者が直面している諸問題(5)
2005年度精密工学会春季大会学術講演会論文集, 2005
2ビームを用いたガラスの3次元レーザ微細割断法
2005年度精密工学会春季大会学術講演会論文集, 2005
ナノダイヤモンドを用いた鏡面研削砥石の開発
2005年度精密工学会春季大会学術講演会論文集, 2005
Mirror Grinding of Quartz-Crystal with EPD Pellet
The Third International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st Century,, 2005
